silicium, un élément abondant dans la nature , est gris et non métalliques , avec une caractéristique particulière : la capacité à conduire l'électricité au sein de contrôles stricts. Cette caractéristique rend l'élément parfait pour être utilisé dans la fabrication des plaquettes de semi-conducteurs pour les ordinateurs , car il doit y avoir des exigences strictes en plaquettes de silicium pour effectuer la tâche demandée d'être le cerveau d'un ordinateur. Mécanique
Selon Siliconfareat , il existe plusieurs caractéristiques mécaniques pour des plaquettes , telles que l'épaisseur , le diamètre et la variation d'épaisseur . Plaquettes doit être homogène , avec peu de place à l'erreur ou l'écart . Les autres spécifications analogues se rapportent à la planéité et le bord, le corps et la chaîne , en cherchant à nouveau l'uniformité. La plaquette doit aussi être exempte de marques provenant du processus de fabrication .
Particules
gaufrettes doivent être , dans la mesure du possible, exempt de particules , comme indiqué dans ProcessSpecialties , utilisant des systèmes de chercher la moindre particule sur une plaquette très poli. L'étalonnage est basée sur une norme de particules traçable , ce qui est nécessaire lors de la visualisation des plaquettes.
Grades
Selon Advantivtech , il existe plusieurs qualités de plaquettes , avec ceux de plus de 150 mm étant divisé en essais mécaniques et les variétés de test processus . Tranches d'essais mécaniques sont utilisés dans l'équipement d'essai , en soulignant les caractéristiques dimensionnelles et structurelles , tandis que des plaquettes de test processus , aussi connu comme plaquettes de moniteur, sont utilisés pour la surveillance des processus et certains fabrication des semi-conducteurs , en plus de juger équipement propreté . D'autres nuances de plaquettes comprennent catégorie de particules , conçu pour une utilisation dans les mesures de particules.